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不同真空泵:干式真空泵、液環泵、羅茨泵的市場應用

發布時間: 2015-09-23 20:56   2319 次瀏覽

不同真空泵:干式真空泵、液環泵、羅茨泵的市場應用
    除了水環式真空泵,真空泵還有很多種類,比如干式真空泵、液環泵、羅茨泵等等,今天主要為大家介紹一下這三種泵的市場應用情況。

1.干式真空泵——干泵
干式真空泵主要在半導體行業、化學工業、薄膜產業得到應用于發展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段,如日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,而歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產品的性能和質量。

為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。

2.液環泵
液環泵跟水環泵一樣,是一種粗真空泵,在國外,液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%,僅次于干泵,在國內,石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等行業領域也占據了比較大的應用市場。
液環泵大部分是鑄件,對加工要求不高,是勞動密集型產品,所以國產液環泵在價格上有著很大的競爭優勢,但關鍵是要改進設計,縮小體積,減輕重量,提高效率,降低能耗。

3.羅茨泵
國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統,為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵,不過,羅茨泵產量不大,國外生產羅茨泵的幾家大公司的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%,這5家總計才20%。但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。而國產羅茨泵在振動噪聲、軸封漏油、外觀質量方面如果能得到改善,可以進一步提高國外市場占有率。
      國內的氣冷式直排大氣羅茨泵發展迅速,技術上已經比較成熟,其在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子,從而使壓縮熱得到平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯使用,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質,實際上也是屬于干泵。

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